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Neben der Durchführung von statischen Schichtdickenmessungen können mit dem F30 dynamische Beschichtungsprozesse kontrolliert werden (MBE, MOCVD usw ). Für die Anpassung von in-situ Messungen stehen entsprechende Sensoreinrichtungen zur Verfügung. Wird häufig auch im Vorfeld zur Kalibrierung von Prozessen eingesetzt. Das F37-PV kann bis zu 7 unabhängige, unterschiedliche Spektrometer mit verschiedenen Sonden aufnehmen. Die Messdaten werden zur statistischen Prozesskontrolle an eine zentrale Einheit weitergeleitet.
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