Informationen über Plasmatechnik
|
Eigenschaften Mikrowellen eignen sich ausgezeichnet für die Erzeugung dichter und leistungsstarker Plasmen für Prozesse der Reinigung, Aktivierung, Modifizierung und Beschichtung. Die angepasste Teilchenenergie erlaubt die Behandlung von empfindlichen polymeren oder biologischen Substraten und die gezielte Oberflächenfunktionalisierung mit empfindlichen organischen Baugruppen. Die hohe Plasmadichte dagegen ermöglicht extreme Prozesse wie Trockenätzen oder Hochratenbeschichtungen bei Raten von einigen Mikrometern pro Minute. Konzentrierte Anwendungen bei Atmosphärendruck sind ebenso möglich, wie flächig oder räumlich ausgedehnte Behandlungen von Substraten im Niederdruck. Beratung, Recherche und Machbarkeitsstudien zur plasmatechnischen Substitution von kundenspezifischen Produktions- und Verfahrensschritten Plasmamodifikation von Oberflächen Abscheidung von Schichtstrukturen zur Erzeugung von Permeationsbarrieren, zur Abscheidung von Kratz- und Abriebsschutzschichten oder zur Generation eines Haftvermittlers oder Haftverhinderers Plasmaätzen und -reinigen von Oberflächen Entwicklung von Plasmaverfahren für pulvrige, fasrige und flächige Strukturen
|
