Informationen über ssr evo 7dr - Serie
|
Alle Systeme der evo 7-Serie werden auch in der jeweiligen „ dr “-Version ( direct radiation ) angeboten. Die direkte Bestrahlung der Substrate verschafft in einigen Anwendungen enorme Prozessvorteile. Durch den konsequenten Einsatz der ssr SLT-Reflektoren (Selective Lambda Technology), wird die Wärmebelastung der Substrate stark reduziert. Die kombinierte Luft- und Wasserkühlung sorgt für bestmögliche Stabilität bei der Prozessführung. Hohe Sicherheit wird durch den mechanischen Shutter gewährleistet. Die „ evo 7 dr “-Systeme können optional auch zu vollwertigen evo 7-Systemen nachgerüstet werden.
|
