Informationen über UHV-kompatible optische Mess-Systeme

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UHV-kompatible optische Mess-Systeme Renishaw GmbH
UHV-kompatible optische Mess-Systeme UHV-kompatible, optische Mess-Systeme Die UHV Baureihe wurde für den Einsatz in UHV-Umgebung entwickelt, für Wafer dicing, wissenschaftliche Instrumente, Spektroskopie, Vakuumtestgeräte etc..., Aus UHV-tauglichen Materialien und Klebstoffen gefertigt, um niedrige Ausgasungsraten und eine saubere RGA zu erhalten, Ausbackungstemperatur von 120°C, Berührungsloses, offenes, optisches System für den zuverlässigen Betrieb bei höchsten Geschwindigkeiten ganz ohne Reibung und Verschleiß, Digital- und Analogausgänge nach Industriestandard mit Auflösungen bis 1 nm, Minimale Wärmeentwicklung durch niedrigen Stromverbrauch, Dichtungen mit Entlüftungsöffnungen, Adaptive Elektronik bietet hochgenaue, langfristige Zuverlässigkeit und einen geringen zyklischen Fehler (±50 nm mit RGH25F UHV und RGH20F UHV, ±30 nm mit TONiC UHV), RFI-abgeschirmtes Kabel mit vakuumtauglicher, beschichteter Verdrahtung, TONiC UHV System verfügt über eine optische Referenzmarke

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